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欢乐生肖注册晶圆标刻与刀片切割相比参考

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欢乐生肖注册晶圆标刻与刀片切割相比参考

公布日期:2019-03-28 作者:孟非 点击:

欢乐生肖注册在晶圆划片行业,紧张有两种切割工艺,一个是传统的刀片切割,另一个新型的当代工艺欢乐生肖注册划片。下面,将颠末相比两种切割工艺,证明欢乐生肖注册划片的下风。

刀片划片

最早的晶圆是用划片体系举行划片(切割)的,如今这种要领依旧占据了世界芯片切割市场的较大份额,格外是在非集成电路晶圆划片范围。金刚石锯片(砂轮)划片要领是如今有数的晶圆划片要领。原理:当变乱物是属于硬、脆的材质,钻石颗粒会以撞击(Fracturing)的要领,将变乱物敲碎,再运用刀口将粉末移除。

存在的标题

欢乐生肖注册● 刀片划片直接作用于晶圆外貌,在晶体外部孕育发生毁伤,容易孕育发生晶圆崩边及晶片粉碎;

欢乐生肖注册● 刀片具有一定的厚度,招致刀具的划片线宽较大;

● 耗材大,刀片需每半个月互换一次;

● 环境污染大,切割后的硅粉水难处置处分。

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由于欢乐生肖注册在聚焦上的益处, 聚中心可小到亚微米数量级, 从而对晶圆的微处置处分更具下风, 可以举行小部件的加工。纵然在不高的脉冲能量水平下, 也能失失较高的能量密度, 有效地举行质料加工。欢乐生肖注册划片属于非打仗式加工,可以抑制出现芯片分裂和别的粉碎征象。

加工下风

● 欢乐生肖注册标刻采取的高光束质量的光纤欢乐生肖注册器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;

● 欢乐生肖注册标刻速率快,高达150mm/s;

欢乐生肖注册● 欢乐生肖注册可以对差异厚度的晶圆举行作业,具有更好的兼容性和通用性;

● 欢乐生肖注册可以切割一些较庞大的晶圆芯片,如六边形管芯等;

欢乐生肖注册● 欢乐生肖注册标刻不消要去离子水,不存在刀具磨损标题,并可延续24小时作业。

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颠末相比欢乐生肖注册欢乐生肖注册晶圆标刻机和刀片机,欢乐生肖注册失失以下数据:

颠末不绝的快乐与配置晋级,欢乐生肖注册告成运用欢乐生肖注册切割互换了刀片切割配置,可以餍足客户电泳法、光阻法、刀刮法制造的GPP芯片,使客户不但选拔了切割遵从,更节流了资源,促进了集团效益的选拔。

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