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晶圆划片机料理方案

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晶圆划片机料理方案

公布日期:2019-04-17 作者: 点击:

方案概述

方案推荐 刀片划片 原理 欢乐生肖注册划片

  在晶圆划片行业,紧张有两种切割工艺,一个是传统的刀片切割,另一个新型的当代工艺欢乐生肖注册划片。下面,将颠末相比两种切割工艺,证明欢乐生肖注册划片的下风。

刀片划片

  最早的晶圆是用划片体系举行划片(切割)的,如今这种要领依旧占据了世界芯片切割市场的较大份额,格外是在非集成电路晶圆划片范围。金刚石锯片(砂轮)划片要领是如今有数的晶圆划片要领。原理:当变乱物是属于硬、脆的材质,钻石颗粒会以撞击(Fracturing)的要领,将变乱物敲碎,再运用刀口将粉末移除。


存在的标题

● 刀片划片直接作用于晶圆外貌,在晶体外部孕育发生毁伤,容易孕育发生晶圆崩边及晶片粉碎;

 刀片具有一定的厚度,招致刀具的划片线宽较大;

● 耗材大,刀片需每半个月互换一次;

● 环境污染大,切割后的硅粉水难处置处分。


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  由于欢乐生肖注册在聚焦上的益处, 聚中心可小到亚微米数量级, 从而对晶圆的微处置处分更具下风, 可以举行小部件的加工。纵然在不高的脉冲能量水平下, 也能失失较高的能量密度, 有效地举行质料加工。欢乐生肖注册划片属于非打仗式加工,可以抑制出现芯片分裂和别的粉碎征象。


加工下风
 欢乐生肖注册欢乐生肖注册划片采取的高光束质量的光纤欢乐生肖注册器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;
 欢乐生肖注册划片速率快,高达150mm/s;
 欢乐生肖注册可以对差异厚度的晶圆举行作业,具有更好的兼容性和通用性;
● 欢乐生肖注册可以切割一些较庞大的晶圆芯片,如六边形管芯等;
 欢乐生肖注册划片不消要去离子水,不存在刀具磨损标题,并可延续24小时作业。


划片配置传统划片要领(砂轮)欢乐生肖注册划片要领(光)
切割速率5-8mm/s1-150mm/s
切割线宽30~40微米30~45微米
切割结果易崩边,分裂腻滑平整,不易分裂
热影响区较大较小
残留应力较大极小
对晶圆厚度要求100 um以上基本无厚度要求
顺应性差异模范晶圆片需互换刀具可顺应差异模范晶圆片
有无斲丧需去离子水,互换刀具,斲丧大斲丧很小



客户受益

  欢乐生肖注册欢乐生肖注册快乐于为客户提供全套的料理方案。在阐发了客户的工艺标题后,欢乐生肖注册欢乐生肖注册倡议客户运用欢乐生肖注册切割,欢乐生肖注册切割是由欢乐生肖注册束经透镜聚焦,在中心处聚成一极小的光斑,可以抵达几十微米最小几微米,将中心调制到工件平面,当富裕功率的光束照射到物体上时,光能机动转换为热能,会孕育发生10000°C以上的局部高温使工件瞬时熔化致使汽化,从而将工件切割到欢乐生肖注册需要的深度约莫切透。

  颠末相比欢乐生肖注册晶圆划片机和刀片机,欢乐生肖注册失失以下数据:


  欢乐生肖注册晶圆划片机运转资源与刀片切相比参考表

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项目谋略谋略
配置购置用度600000元/台*1台=600000元/台480000元/台*1台=300000元
配置均按6年折旧谋略24小时/天*365天*6年=52560小时24小时/天*365天*6年=52560小时
3寸片的反面切割切割速率每片=1.2分钟切割速率每片=3.5分钟
折旧期内总产量(52560小时*60分钟)/1.2分钟每片=2628000片(52560小时*60分钟)/3.5分钟每片=902019片
维护用度(1年免保 +5年包修)基本无用度,就算2万维护用度软刀用度折合0.2元/片*902019片=18万
每片单价(60000+20000)元/2628000片=0.23元/片(300000+1800000)元/902019片 =0.53

  颠末欢乐生肖注册不绝的快乐与配置晋级,欢乐生肖注册告成运用欢乐生肖注册切割互换了刀片切割配置,可以餍足客户电泳法、光阻法、刀刮法制造的GPP芯片,使客户不但选拔了切割遵从,更节流了资源,促进了集团效益的选拔,现欢乐生肖注册切割配置在客户处坚定斲丧已达3年之久。

相关运用

 运用于半导体制造行业单、双台面玻璃钝化二极管晶圆,单、双台面可控硅晶圆,IC晶圆切割等半导体晶圆片的切割划片。

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关键词:晶圆划片机料理方案

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