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欢乐生肖注册在半导体晶圆切割及划片中的下风

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欢乐生肖注册在半导体晶圆切割及划片中的下风

公布日期:2019-04-25 作者:孟飞 点击:

比年来光电财富的快速生长,高集成度和高遵从的半导体晶圆需求不绝增长,硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃以及磷化铟等质料被普及运用于半导体晶圆的衬底质料。随着晶圆集成度大幅提高,晶圆趋向于佻薄化,传统的很多加工要领曾经不再适用,于是在局部工序引入了欢乐生肖注册隐形切割技术


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欢乐生肖注册切割技术具有诸多共同的下风:

1.非打仗式加工:欢乐生肖注册的加工只需欢乐生肖注册光束与加工件发生打仗,没有刀削力作用于切割件,抑制对加工质料外貌构成毁伤。

2.加工精度高,热影响小:脉冲欢乐生肖注册可以做到瞬时功率极高、能量密度极高而平均功率很低,可瞬时完成加工且热影响地域极小,确保高风雅加工,小热影响地域。

3.加工遵从高,经济效益好:欢乐生肖注册加工遵从重复是呆板加工结果的数倍且没有耗材无污染。

而传统的加工办规律采取的是刀片的加工情势,而随着晶圆制程的革新,以及碳粉质料参杂的运用,晶圆的硬度越来越高,对加工的要求越来越高,欢乐生肖注册切割技术的运用很好的料理了这种缺陷,尤其是晶圆参与碳粉后,硬度更高。

 


 半导体晶圆划片样品.png

 

 

 

半导体晶圆的欢乐生肖注册隐形切割技术是一种全新的欢乐生肖注册切割工艺,具有切割速率快、切割不孕育发生粉尘、无斲丧、所需切割道小、完全干制程等诸多下风。隐形切割紧张原理是将短脉冲欢乐生肖注册光束透过质料外貌聚焦在质猜中心,在质猜中心构成改质层,然后颠末外部施加压力使芯片分开。

晶圆切割是先辈技术的代表,标志取一个国度的先辈水平,想要不出现被洽商的外形,唯有生长自身的技术,才气跳出这个泥潭,作为欢乐生肖注册行业的标杆,欢乐生肖注册欢乐生肖注册针对半导体行业研发的超快风雅皮秒欢乐生肖注册配置如今曾经普及运用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存储芯片等诸多晶圆的切割范围为国度的提高做孝敬,完成国产化斲丧,选拔国度竞争力。   


在半导体晶圆划片方面欢乐生肖注册也有着不可改换的作用;深圳欢乐生肖注册欢乐生肖注册独立开拓的半导体划片机曾经大批量新手业中运用。


呆板运用范围:

半导体集成电路,包括单双台面玻璃钝化二极管晶圆切割划片,单双台面可控硅晶圆切割划片,砷化镓,氮化镓,IC晶圆切割划片。



呆板益处:

1、采取皮秒欢乐生肖注册器、定制聚焦头, 聚焦光束直径小到3μm,切割道仅需10μm,切缝窄,更多的芯片出片率,无热效应,对芯片电路无毁伤。

2、划片速率高达500mm/s, 敷衍厚度1mm内样品,欢乐生肖注册划线仅需一次即可折断。

3、CCD视觉预扫描&自动抓靶定位、最大加工范围650mm×450mm、XY平台拼接精度≤±3μm

4、无锥度切割、最小崩边3μm, 边沿腻滑。

5、支持多种视觉定位特性,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特性点等。

6、6年欢乐生肖注册微细加工体系研发设计技术沉淀、遵从坚定、3万小时无耗材。

7、呆板手全自动上下料体系,节流人力资源。



欢乐生肖注册划片原理(透明质料内聚焦爆裂切割):

      颠末贝塞尔或DOE光学体系,把高斯欢乐生肖注册光束紧缩到衍射极限,在100-200KHz高重复频率、10ps极短脉宽的欢乐生肖注册束作用下,聚焦光斑直径小至3μm,具有十分高的峰值功率密度,其在透明质料外部聚焦时,瞬时气化该地域质料从而孕育发生一个气化带,并向上下两外貌疏散构成非线性裂纹,从而完成对证料的切割疏散。有数的透明质料包括玻璃、蓝宝石和半导体硅片(红外辐射是可以大约透射半导体硅质料的)都是相宜用皮秒&飞秒欢乐生肖注册划片加工的。



技术规格参数

序号项目技术参数
光学单位
1欢乐生肖注册器模范1064nm  10ps  200KHz
2冷却要领恒温水冷
3欢乐生肖注册功率50W
4光束质量M²<1.3
5聚焦要领&加工头数单点聚焦镜、单头
6最小聚焦光斑直径

Ф3μm

欢乐生肖注册加工遵从
7加工速率100~1000mm/s可调
8最小崩边3μm
9最大加工质料厚度1mm
10最大加工尺寸&精度12inches, ±5μm
呆板单位
11机床布局龙门式
12机床活动轴数&种类最多8轴,  X,Y,  Z, &θ轴
13平台最大行程&速率650mm×450mm
1000mm/s
14活动平台重复精度

±1μm

15活动平台定位精度

±3μm

软件控制单位
16欢乐生肖注册加工&平台控制Strongsoft, Strongcut
17加工文件导入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
18CCD视觉定位软件AISYS Vision
19CCD视觉定位精度±3μm
电器单位
20PLC控制器Panasonic
21真空体系真空泵
22除尘&集尘体系专业粉尘过滤集成污染机
自动化单位
23自动上下料体系XZ轴+可移动上下料平台
陈设环境
24零件供电&稳压器功率220V380V,6KW
25紧缩气氛压强

0.6MPa

26无尘室等级10000
27空中承重 2T/m²
28掩护氮气高纯氮


       


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