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单次蚀刻范围180mm*180mm标配,多项可选
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蚀刻速率 ≤2500mm/s
最小线宽0.02mm
重复精度0.003mm
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体系运转环境WindowsXP
冷却要领风冷
电力需求220VAC/单相/50Hz/2Kw~3.5Kw


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