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脆性子料皮秒欢乐生肖注册切割配置

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行业运用:

蓝宝石&玻璃盖板、光学玻璃、半导体封装芯片、蓝宝石&硅晶圆&陶瓷基板等脆性子料,热敏感的高分子&无机质料,微细钻孔,切割。

细致运用比如:

1、手机盖板和光学镜头外形切割  

2、指纹识别芯片切割            

3、光学镜片外形切割

4、液晶面板切割

5、无机&无机质料的新型柔性表现或微细电子电路蚀刻&切割。


呆板益处:

1、欢乐生肖注册欢乐生肖注册的配置采取皮秒约莫飞秒欢乐生肖注册器,超短脉冲加工无热传导,适于恣意无机&无机质料的高速切割与钻 孔,最小10μm的崩边和热影响区。

2、采取单欢乐生肖注册器双光路分光技术,双欢乐生肖注册头加工,遵从提升一倍

欢乐生肖注册3、CCD视觉预扫描&自动抓靶定位、最大加工范围650mm×450mm、XY平台拼接精度≤±3μm。

欢乐生肖注册4、支持多种视觉定位特性,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特性点等。

5、自动洗濯、视觉检测分拣、自动上下料。

欢乐生肖注册6、6年欢乐生肖注册微细加工体系研发设计技术沉淀、遵从坚定、无耗材。


皮秒欢乐生肖注册外貌溶解切割原理:

高峰值功率欢乐生肖注册束在扫描振镜的移动反射下经平场扫描物镜聚焦在脆性子料外貌,扫描振镜控制欢乐生肖注册束举行重复重复转圈活动,冉冉烧蚀质料外貌,质料被高密度峰值功率欢乐生肖注册瞬时加热机动高涨至等离子体气化温度,使得质料冉冉被欢乐生肖注册烧蚀并以气体的情势从质料外貌逸出,从而完成质料的切透疏散。


技术规格参数

序号项目技术参数
光学单位
1欢乐生肖注册器模范355、532、1064nm可选
2冷却要领恒温水冷
3欢乐生肖注册功率10~100W
4光束质量M²<1.3
5聚焦要领&加工头数平场聚焦镜&双头
6  最小聚焦光斑直径

Ф15μm

欢乐生肖注册加工遵从
7加工速率100~1500mm/s可调
8最小崩边15μm
9最大加工质料厚度1mm
10最大加工尺寸&精度250mm×250mm,±5μm
呆板单位
11机床布局龙门式
12机床活动轴数&种类最多8轴,  X,Y,  Z, &θ轴
13平台最大行程&速率650mm×450mm
800mm/s
14活动平台重复精度

±1μm

15活动平台定位精度±3μm
软件控制单位
16欢乐生肖注册加工&平台控制Strongsoft, Strongsmart
17加工文件导入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
18CCD视觉定位软件AISYS Vision
19CCD视觉定位精度±3μm
电器单位
20PLC控制器Panasonic
21真空体系真空发生器
22除尘&集尘体系三相电风机
自动化单位
23自动上下料体系XZ轴+可移动上下料平台
陈设环境
24零件供电&稳压器功率220V380V,5KW
25紧缩气氛压强

0.6MPa

26无尘室等级10000
27空中承重 2T/m²
28掩护氮气高纯氮

样品显现:

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一流的研发团队

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外部设计图:

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