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备紧张用于太阳能钙钛矿电池欢乐生肖注册刻蚀,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、金、银、碳粉等导电金属、氧化物质料欢乐生肖注册刻蚀,同时可针对白玻璃基底欢乐生肖注册划线。配置范例尺寸1100*650mm。

呆板加工尺寸精度高,无锥度,崩边小于10um。
皮秒欢乐生肖注册具有光束质量好,聚焦光斑小,功率颠簸小,包管坚定的加工风致。
风雅光路设计包管高质量的欢乐生肖注册传输。
装备高速高精度直线电机。
装备自动化加工体系。

紧张技术参数

型号

钙钛矿银电池欢乐生肖注册

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飞秒、皮秒欢乐生肖注册器

纳秒欢乐生肖注册器,波长1064nm

加工幅面

1100*650mm

聚焦光斑

10μm

20μm

欢乐生肖注册器频率调理范围

20-5000KHz

100-500KHz

刻蚀最小线宽

10 um

20μm

(最大可以去除95%以上的氧化物镀层)

零件精度

±15μm

±20μm

最小线间距

10μm

20μm

变乱台定位精度

±2um

变乱台重复精度

±1um

CCD自动定位精度

±2um

刻蚀速率

4000mm/s

配置尺寸

1950mmL×1700mmW×1960mmH

配置重量

2500kg

功率斲丧

3000W

可处置处分文件格式

范例CAD2004DXF文件

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