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产品运用:

紧张用于光伏电池背部钝化层开槽,钝化层的去除,太阳能电池芯片线路图欢乐生肖注册蚀刻等。


产品特点:

设计布局紧凑,餍足客户园地要求

欢乐生肖注册源坚定,餍足暂时高强度作业

INLINE制程,自动化水平高

采取皮秒紫外欢乐生肖注册,速率更快,精度更高



                                                    技术规格参数

序号项目技术参数
光学单位
1欢乐生肖注册器模范355,532,1064nm(纳秒&皮秒)可选
2欢乐生肖注册功率20W
3光束质量M²<1.3
4聚焦要领&加工头数平场聚焦镜、单头
5最小聚焦光斑直径

Ф18μm

欢乐生肖注册加工遵从
6加工速率1000~4000mm/s可调
7最小蚀刻线宽20μm
8蚀刻线宽精度±1.5μ
9欢乐生肖注册单次最大变乱范围

130mm×130mm,20μ线

170mm×170mm,35μm线宽

10欢乐生肖注册蚀刻最大变乱范围650mm×550mm恣意自动拼接
11欢乐生肖注册蚀刻线路拼接精度≤±3μm
呆板单位
12机床布局立柱&龙门式
13机床活动轴数&种类 最多8轴,  X,Y,  Z, & θ轴
14平台最大行程&速率650mm×550mm,800mm/s
15活动平台重复精度≤±1μ
16活动平台定位精度≤±3μ
软件控制单位
17欢乐生肖注册加工&平台控制Strongsoft, Strongsmart
18加工文件导入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
19CCD视觉定位软件 AISYS Vision
20CCD视觉定位精度≤±3μm
电气单位
21真空体系真空发生器
22 除尘&集尘体系离心式风机
陈设环境
23零件供电&稳压器功率220V380V,5KW
24紧缩气氛压强≥0.6MPa
25无尘室等级10000
26空中承重2T/m²



                                               蚀刻样品:

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