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1、该配置采取IPG欢乐生肖注册器,功率坚定、寿命长、免维护

2、孔深比大,微孔圆度好

3、光路壮实,平台移动,孔型划一性好,垂直度好

4、同步活动打孔,速率快

5、自动布孔,孔距可设定,准确打孔

6、引导入DXF、PLT等图形,依据图形要求打孔

7、采取双闭环位置控制,精度高

8、真空吸附,应用方便

9、吸尘处置处分,配置可放于超净间

相关运用:

运用于硅晶片,半导体晶圆,非晶薄膜等质料

技术规格参数:

序号项目技术参数
 光学单位
1欢乐生肖注册器模范355、532、1064nm可选 10ps
2冷却要领恒温水冷
3欢乐生肖注册功率10~100W
4光束质量M²<1.3
5聚焦要领&加工头数单点&平场聚焦镜、双头
6最小聚焦光斑直径

Ф3--15μm

欢乐生肖注册加工遵从
7加工速率100~3000mm/s可调
8最小崩边3μm
9最大加工质料厚度2mm
10最大加工尺寸&精度12inches, ±5μm
呆板单位
11机床布局龙门式
12机床活动轴数&种类最多8轴,  X,Y,  Z, &θ轴
13平台最大行程&速率650mm×450mm,800mm/s
14活动平台重复精度≤±1μm
15活动平台定位精度≤±3μm
软件控制单位
16欢乐生肖注册加工&平台控制Strongsoft, Strongsmart
17加工文件导入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
18CCD视觉定位软件AISYS Vision
19CCD视觉定位精度≤±3μm
电气单位
20PLC控制器Panasonic
21真空体系真空泵
22除尘&集尘体系专业粉尘过滤集成污染机 
自动化单位
23自动上下料体系XZ轴+可移动上下料平台
低级可选单位
24AOI视觉检测8--12寸大片/3min
25自动裂片结果8--12寸大片/3min
26自动洗濯分选8--12寸大片/3min
陈设环境
27零件供电&稳压器功率220V380V,8KW
28紧缩气氛压强≥0.6MPa
29无尘室等级10000
30空中承重 2T/m²
31掩护氮气 高纯氮


切割、钻孔样品:

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