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产品运用:

运用高质量光束在晶圆/玻璃切割道内举行外貌刻线,划槽加工。

产品益处:

  ◆ 有效减小崩边和脱层,提高良率

  ◆ 开槽宽度,深度可调理

  ◆ 全自动运转,集成掩护液涂覆,晶圆玻璃开槽,洗濯模块


工艺流程:

  掩护液涂覆---欢乐生肖注册开槽---二流体水洗濯

技术参数:

◆ 加工东西:玻璃 晶圆

◆ 欢乐生肖注册种类:紫外欢乐生肖注册

◆ 欢乐生肖注册功率:≧5W

◆ 冷却要领:封锁式循环水冷

◆ X轴:行程550mm,剖析度0.1μm

◆ Y轴:行程500mm,剖析度0.1μm

◆ Z轴:行程15mm,剖析度0.1μm

◆ θ轴:行程120°,剖析度0.001°

◆ 开槽深度:>10μm

◆ 切割轴速率:0-500mm/s

◆ 加工尺寸:12寸以内

◆ 上外貌精度:0.01mm/300mm 

◆ 洗濯盘转速:2500r/min

◆ 位置精度:0.01°

◆ 加工要领:正面开槽,全自动加工

◆ 对焦要领:自动对焦

◆ 打光体系:点光源


样品显现:


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一流的研发团队

85%的公司员工拥有大专及以上学历,技术研发职员占总人数的一半以上,此中研发主干职员代表着行业内顶尖水平。

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